Deutsch

Greiner, Felix (2013)
Mikro-Nano-Integration für metallische Mikrosysteme mit vertikal integrierten Federelementen.
Technische Universität Darmstadt
Dissertation, Erstveröffentlichung

Greiner, Felix ; Quednau, Sebastian ; Dassinger, Florian ; Sarwar, Reza ; Schlaak, Helmut F. ; Guttmann, Markus ; Meyer, Pascal (2013)
Fertigungstechniken für Multiskalen-3D-Mikrosysteme mit vertikaler Metall-Mikro- und Nanodraht-Integration GMM-Preis 2013.
Mikrosystemtechnik Kongress 2013. Aachen (14.10.2013-16.10.2013)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Greiner, Felix ; Quednau, Sebastian ; Dassinger, Florian (2013)
Fertigungstechniken für Multiskalen-3D-Mikrosysteme - GMM-Preis 2013.
In: Mechatronik, 121 (10)
Artikel, Bibliographie

Dassinger, Florian ; Quednau, Sebastian ; Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. ; Hottes, Martin ; Stegmann, Christian ; Rauber, Markus ; Ensinger, Wolfgang ; Trautmann, Christina (2012)
Einsatz von integrierten Nanostrukturen in Mikrosystemen.
Mikro-Nano-Integration. (12.11.2012-13.11.2012)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Dassinger, Florian ; Hottes, Martin ; Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. ; Ensinger, Wolfgang (2012)
Mikro-Nano-Integration für die Inertialsensorik.
In: Sensor Magazin, 27 (3)
Artikel, Bibliographie

Meiss, Thorsten ; Rausch, Jacqueline ; Rossner, Tim ; Greiner, Felix ; Werthschützky, Roland (2012)
Sensor mit einfacher Verbindungstechnik.
Norm, Patent, Standard, Bibliographie

Greiner, Felix ; Haus, Henry ; Quednau, Sebastian ; Schlaak, Helmut F. ; Staab, Matthias ; Winterstein, Thomas (2011)
Integrationsorientierte Verfahren zur Herstellung hybrider Mikrosysteme INSIGHT, FKZ 16SV5053.
Report, Bibliographie

Greiner, Felix ; Eberhardt, Johannes ; Schlaak, Helmut F. (2011)
Senkrechte metallische Nano- und Mikrodrähte mit hohem Aspektverhältnis als neuartige Federelemente in Mikrosystemen.
MikroSystemTechnik Kongress 2011. Darmstadt, Germany (10.10.2011-12.10.2011)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Greiner, Felix (2006)
Analyse und Optimierung des Anschlagverhaltens von piezoelektrischen Aktoren.
Technische Universität Darmstadt
Diplom- oder Magisterarbeit, Bibliographie

Greiner, Felix (2004)
Neuer integrierter Näherungssensor.
Technische Universität Darmstadt
Studienarbeit, Bibliographie

Englisch

Greiner, Felix ; Dassinger, Florian ; Quednau, Sebastian ; Sarwar, Reza ; Hottes, Martin ; Stegmann, Christian ; Rauber, Markus ; Trautmann, Christina ; Schlaak, Helmut F. ; Ensinger, Wolfgang (2013)
Integration of nanowires onto 100 mm wafers by the growth in-place method.
Report, Bibliographie

Greiner, Felix ; Guttmann, Markus ; Meyer, Pascal ; Schlaak, Helmut F. (2013)
Fabrication of 3D-MEMS with High Aspect Ratio Micro Wires.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Greiner, Felix ; Quednau, Sebastian ; Dassinger, Florian ; Sarwar, Reza ; Schlaak, Helmut F. ; Guttmann, Markus ; Meyer, Pascal (2013)
Fabrication techniques of multiscale 3D-MEMS with vertical metal micro- and nanowire integration.
In: Journal of Micromechanics and Microengineering
doi: 10.1088/0960-1317/23/2/025018
Artikel, Bibliographie

Greiner, Felix
Hrsg.: Mohr, Jürgen ; Anson, Susan ; Schaller, Thomas (2012)
Metallic Micro Nailheads MAde by LiG process - MiNiMAL.
Report, Bibliographie

Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. (2012)
High aspect ratio metal micro and nano pillars for minimal footprint MEMS suspension.
In: Microsystem Technologies
doi: 10.1007/s00542-012-1659-x
Artikel, Bibliographie

Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. (2012)
MEMS Made in a Small Scale Research Lab - Opportunities for Functional Targets.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. (2012)
MEMS Made in a Small Scale Research Lab - Opportunities for Functional Targets.
Konferenzveröffentlichung, Erstveröffentlichung

Winterstein, Thomas ; Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. ; Pullich, Leif (2012)
A blended-learning concept for basic lectures in electrical engineering: A practical report.
International Conference on Education and e-Learning Innovations (ICEELI), 2012. Sousse (01.07.2012-03.07.2012)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Schlaak, Helmut F. ; Greiner, Felix ; Schneider, Jörg J. (2012)
Micro Nano Integration – Nano enhanced Microsystems.
In: Microsystems Technology in Germany 2012
Artikel, Bibliographie

Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. (2012)
Cleanroom Laboratory for Micro- and Nanotechnology.
4th International Target Fabrication Workshop. Mainz (19.08.2012-23.08.2012)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. (2012)
Out of Plane High Aspect Ratio Micro Wires as Suspension Elements in Inertial Sensors.
4th ANKA/KNMF Users' Meeting. Karlsruhe (10.-11.10.2012)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Gao, Jing ; Müller, Wolfgang F. O. ; Greiner, Felix ; Eicher, Dirk ; Weiland, Thomas ; Schlaak, Helmut F.
Hrsg.: Schlaak, Helmut F. (2011)
Combined Simulation of a Micro Permanent Magnetic Linear Contactless Displacement Sensor.
In: Proceedings of the Mikrosystemtechnik-Kongress 2011, Darmstadt, 10-12 Oktober 2011
Buchkapitel, Bibliographie

Gao, Jing ; Müller, Wolfgang F. O. ; Greiner, Felix ; Eicher, Dirk ; Weiland, Thomas ; Schlaak, Helmut F. (2010)
Combined Simulation of a Micro Permanent Magnetic Linear Contactless Displacement Sensor.
In: Sensors, 10 (9)
Artikel, Bibliographie

Gao, Jing ; Müller, Wolfgang F. O. ; Greiner, Felix ; Eicher, Dirk ; Weiland, Thomas ; Schlaak, Helmut F.
Hrsg.: Wiak, Stawomir ; Napieralska-Juszczak, Ewa (2010)
Combined Simulation of Micro Permanent Magnetic Linear Contactless Displacement Sensor.
In: Studies in Applied Electromagnetics and Mechanics: Computer Field Models of Electromagnetic Devices
Buchkapitel, Bibliographie

Gao, Jing ; Müller, Wolfgang Franz Otto ; Greiner, Felix ; Eicher, Dirk ; Weiland, Thomas ; Schlaak, Helmut F. (2010)
Combined Simulation of Micro Permanent Magnetic Linear Contactless Displacement Sensor.
In: Sensors, 10
Artikel, Bibliographie

Gao, Jing ; Müller, Wolfgang F. O. ; Greiner, Felix ; Eicher, Dirk ; Weiland, Thomas ; Schlaak, Helmut F. (2009)
Combined simulation of micro permanent magnetic linear contactless displacement sensor.
International Symposium on Electromagnetic Fields, ISEF 2009, Book of digests, ISEF 09. ARRAS (France)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie