TU Darmstadt / ULB / TUbiblio

High aspect ratio metal micro and nano pillars for minimal footprint MEMS suspension

Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. (2012)
High aspect ratio metal micro and nano pillars for minimal footprint MEMS suspension.
In: Microsystem Technologies
doi: 10.1007/s00542-012-1659-x
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2012
Autor(en): Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: High aspect ratio metal micro and nano pillars for minimal footprint MEMS suspension
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 13 September 2012
Verlag: Springer Verlag
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Microsystem Technologies
DOI: 10.1007/s00542-012-1659-x
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Hinterlegungsdatum: 19 Sep 2012 06:46
Letzte Änderung: 05 Mär 2013 10:02
PPN:
Export:
Suche nach Titel in: TUfind oder in Google
Frage zum Eintrag Frage zum Eintrag

Optionen (nur für Redakteure)
Redaktionelle Details anzeigen Redaktionelle Details anzeigen