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MEMS Made in a Small Scale Research Lab - Opportunities for Functional Targets

Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. (2012)
MEMS Made in a Small Scale Research Lab - Opportunities for Functional Targets.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2012
Autor(en): Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: MEMS Made in a Small Scale Research Lab - Opportunities for Functional Targets
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 20 August 2012
Ort: Mainz
Buchtitel: Book of Abstracts on 4th International Target Fabrication Workshop
URL / URN: http://targetfabrication.com/index.html
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Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Hinterlegungsdatum: 04 Sep 2012 13:13
Letzte Änderung: 26 Aug 2018 21:27
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