Greiner, Felix ; Quednau, Sebastian ; Dassinger, Florian ; Sarwar, Reza ; Schlaak, Helmut F. ; Guttmann, Markus ; Meyer, Pascal (2013)
Fertigungstechniken für Multiskalen-3D-Mikrosysteme mit vertikaler Metall-Mikro- und Nanodraht-Integration GMM-Preis 2013.
Mikrosystemtechnik Kongress 2013. Aachen (14.-16- Oktober 2013)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2013 |
| Autor(en): | Greiner, Felix ; Quednau, Sebastian ; Dassinger, Florian ; Sarwar, Reza ; Schlaak, Helmut F. ; Guttmann, Markus ; Meyer, Pascal |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Fertigungstechniken für Multiskalen-3D-Mikrosysteme mit vertikaler Metall-Mikro- und Nanodraht-Integration GMM-Preis 2013 |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 14 Oktober 2013 |
| Veranstaltungstitel: | Mikrosystemtechnik Kongress 2013 |
| Veranstaltungsort: | Aachen |
| Veranstaltungsdatum: | 14.-16- Oktober 2013 |
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| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme |
| Hinterlegungsdatum: | 07 Jan 2014 06:49 |
| Letzte Änderung: | 07 Jan 2014 06:49 |
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