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Fertigungstechniken für Multiskalen-3D-Mikrosysteme mit vertikaler Metall-Mikro- und Nanodraht-Integration GMM-Preis 2013

Greiner, Felix and Quednau, Sebastian and Dassinger, Florian and Sarwar, Reza and Schlaak, Helmut F. and Guttmann, Markus and Meyer, Pascal (2013):
Fertigungstechniken für Multiskalen-3D-Mikrosysteme mit vertikaler Metall-Mikro- und Nanodraht-Integration GMM-Preis 2013.
In: Mikrosystemtechnik Kongress 2013, Aachen, 14.-16- Oktober 2013, [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2013
Creators: Greiner, Felix and Quednau, Sebastian and Dassinger, Florian and Sarwar, Reza and Schlaak, Helmut F. and Guttmann, Markus and Meyer, Pascal
Title: Fertigungstechniken für Multiskalen-3D-Mikrosysteme mit vertikaler Metall-Mikro- und Nanodraht-Integration GMM-Preis 2013
Language: German
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems
Event Title: Mikrosystemtechnik Kongress 2013
Event Location: Aachen
Event Dates: 14.-16- Oktober 2013
Date Deposited: 07 Jan 2014 06:49
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