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Anzahl der Einträge: 4.

Greiner, Felix ; Quednau, Sebastian ; Dassinger, Florian ; Sarwar, Reza ; Schlaak, Helmut F. ; Guttmann, Markus ; Meyer, Pascal :
Fertigungstechniken für Multiskalen-3D-Mikrosysteme mit vertikaler Metall-Mikro- und Nanodraht-Integration GMM-Preis 2013.
In: Mikrosystemtechnik Kongress 2013, 14.-16- Oktober 2013, Aachen.
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag] , (2013)

Greiner, Felix ; Dassinger, Florian ; Quednau, Sebastian ; Sarwar, Reza ; Hottes, Martin ; Stegmann, Christian ; Rauber, Markus ; Trautmann, Christina ; Schlaak, Helmut F. ; Ensinger, Wolfgang :
Integration of nanowires onto 100 mm wafers by the growth in-place method.
[Online-Edition: https://www.gsi.de/work/forschung/bibliothek_und_dokumentati...]
In: GSI scientific report 2012 . Darmstadt
[Report] , (2013)

Rossner, Tim ; Lyashenko, Alexandra ; Dörsam, Edgar ; Sarwar, Reza ; Werthschützky, Roland :
Hot Stamped Conductors on Nano-Micro Wires Made by Electroplating for Medical Sensors and Micro-Implants.
SENSOR & TEST Conference Nürnberg
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag] , (2013)

Greiner, Felix ; Quednau, Sebastian ; Dassinger, Florian ; Sarwar, Reza ; Schlaak, Helmut F. ; Guttmann, Markus ; Meyer, Pascal :
Fabrication techniques of multiscale 3D-MEMS with vertical metal micro- and nanowire integration.
In: Journal of Micromechanics and Microengineering ISSN 1361-6439
[Artikel] , (2013)

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