Greiner, Felix ; Guttmann, Markus ; Meyer, Pascal ; Schlaak, Helmut F. (2013)
Fabrication of 3D-MEMS with High Aspect Ratio Micro Wires.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2013 |
| Autor(en): | Greiner, Felix ; Guttmann, Markus ; Meyer, Pascal ; Schlaak, Helmut F. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Fabrication of 3D-MEMS with High Aspect Ratio Micro Wires |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 21 April 2013 |
| Ort: | Berlin |
| Buchtitel: | Book of Abstracts on 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology HARMNST 2013 |
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| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme |
| Hinterlegungsdatum: | 15 Jul 2013 07:35 |
| Letzte Änderung: | 15 Jul 2013 07:35 |
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