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Senkrechte metallische Nano- und Mikrodrähte mit hohem Aspektverhältnis als neuartige Federelemente in Mikrosystemen

Greiner, Felix and Eberhardt, Johannes and Schlaak, Helmut F. (2011):
Senkrechte metallische Nano- und Mikrodrähte mit hohem Aspektverhältnis als neuartige Federelemente in Mikrosystemen.
In: MikroSystemTechnik Kongress 2011, [Online-Edition: http://www.mikrosystemtechnik-kongress.de],
[Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2011
Creators: Greiner, Felix and Eberhardt, Johannes and Schlaak, Helmut F.
Title: Senkrechte metallische Nano- und Mikrodrähte mit hohem Aspektverhältnis als neuartige Federelemente in Mikrosystemen
Language: German
Title of Book: MikroSystemTechnik Kongress 2011
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems
Date Deposited: 02 Nov 2011 09:04
Official URL: http://www.mikrosystemtechnik-kongress.de
Identification Number: ISBN 978-3-8007-3367-5
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