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Einsatz von integrierten Nanostrukturen in Mikrosystemen

Dassinger, Florian ; Quednau, Sebastian ; Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. ; Hottes, Martin ; Stegmann, Christian ; Rauber, Markus ; Ensinger, Wolfgang ; Trautmann, Christina (2012)
Einsatz von integrierten Nanostrukturen in Mikrosystemen.
Mikro-Nano-Integration. (12. - 13. November 2012)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags:	Konferenzveröffentlichung
Erschienen:	2012
Autor(en):	Dassinger, Florian ; Quednau, Sebastian ; Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. ; Hottes, Martin ; Stegmann, Christian ; Rauber, Markus ; Ensinger, Wolfgang ; Trautmann, Christina
Art des Eintrags:	Bibliographie
Titel:	Einsatz von integrierten Nanostrukturen in Mikrosystemen
Sprache:	Deutsch
Publikationsjahr:	12 November 2012
Ort:	Berlin
Verlag:	VDE Verlag
Veranstaltungstitel:	Mikro-Nano-Integration
Veranstaltungsdatum:	12. - 13. November 2012
Fachbereich(e)/-gebiet(e):	11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Materialanalytik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Hinterlegungsdatum:	22 Jan 2013 10:47
Letzte Änderung:	20 Aug 2018 11:59
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