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Number of items: 27.

Greiner, Felix (2013)
Mikro-Nano-Integration für metallische Mikrosysteme mit vertikal integrierten Federelementen.
Technische Universität Darmstadt
Ph.D. Thesis, Primary publication

Greiner, Felix ; Quednau, Sebastian ; Dassinger, Florian ; Sarwar, Reza ; Schlaak, Helmut F. ; Guttmann, Markus ; Meyer, Pascal (2013)
Fertigungstechniken für Multiskalen-3D-Mikrosysteme mit vertikaler Metall-Mikro- und Nanodraht-Integration GMM-Preis 2013.
Mikrosystemtechnik Kongress 2013. Aachen (14.-16- Oktober 2013)
Conference or Workshop Item, Bibliographie

Greiner, Felix ; Quednau, Sebastian ; Dassinger, Florian (2013)
Fertigungstechniken für Multiskalen-3D-Mikrosysteme - GMM-Preis 2013.
In: Mechatronik, 121 (10)
Article, Bibliographie

Greiner, Felix ; Dassinger, Florian ; Quednau, Sebastian ; Sarwar, Reza ; Hottes, Martin ; Stegmann, Christian ; Rauber, Markus ; Trautmann, Christina ; Schlaak, Helmut F. ; Ensinger, Wolfgang (2013)
Integration of nanowires onto 100 mm wafers by the growth in-place method.
Report, Bibliographie

Greiner, Felix ; Guttmann, Markus ; Meyer, Pascal ; Schlaak, Helmut F. (2013)
Fabrication of 3D-MEMS with High Aspect Ratio Micro Wires.
Conference or Workshop Item, Bibliographie

Greiner, Felix ; Quednau, Sebastian ; Dassinger, Florian ; Sarwar, Reza ; Schlaak, Helmut F. ; Guttmann, Markus ; Meyer, Pascal (2013)
Fabrication techniques of multiscale 3D-MEMS with vertical metal micro- and nanowire integration.
In: Journal of Micromechanics and Microengineering
doi: 10.1088/0960-1317/23/2/025018
Article, Bibliographie

Dassinger, Florian ; Quednau, Sebastian ; Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. ; Hottes, Martin ; Stegmann, Christian ; Rauber, Markus ; Ensinger, Wolfgang ; Trautmann, Christina (2012)
Einsatz von integrierten Nanostrukturen in Mikrosystemen.
Mikro-Nano-Integration. (12. - 13. November 2012)
Conference or Workshop Item, Bibliographie

Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. (2012)
Out of Plane High Aspect Ratio Micro Wires as Suspension Elements in Inertial Sensors.
Conference or Workshop Item, Primary publication

Greiner, Felix
eds.: Mohr, Jürgen ; Anson, Susan ; Schaller, Thomas (2012)
Metallic Micro Nailheads MAde by LiG process - MiNiMAL.
Report, Bibliographie

Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. (2012)
High aspect ratio metal micro and nano pillars for minimal footprint MEMS suspension.
In: Microsystem Technologies
doi: 10.1007/s00542-012-1659-x
Article, Bibliographie

Dassinger, Florian ; Hottes, Martin ; Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. ; Ensinger, Wolfgang (2012)
Mikro-Nano-Integration für die Inertialsensorik.
In: Sensor Magazin, 27 (3)
Article, Bibliographie

Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. (2012)
MEMS Made in a Small Scale Research Lab - Opportunities for Functional Targets.
Conference or Workshop Item, Bibliographie

Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. (2012)
Cleanroom Laboratory for Micro- and Nanotechnology.
4th International Target Fabrication Workshop. Mainz
Conference or Workshop Item, Primary publication

Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. (2012)
MEMS Made in a Small Scale Research Lab - Opportunities for Functional Targets.
Conference or Workshop Item, Primary publication

Meiss, Thorsten ; Rausch, Jacqueline ; Rossner, Tim ; Greiner, Felix ; Werthschützky, Roland (2012)
Sensor mit einfacher Verbindungstechnik.
Norm, patent, standard, Bibliographie

Winterstein, Thomas ; Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. ; Pullich, Leif (2012)
A blended-learning concept for basic lectures in electrical engineering: A practical report.
International Conference on Education and e-Learning Innovations (ICEELI), 2012. Sousse (1.-3. Juli 2012)
Conference or Workshop Item, Bibliographie

Schlaak, Helmut F. ; Greiner, Felix ; Schneider, Jörg J. (2012)
Micro Nano Integration – Nano enhanced Microsystems.
In: Microsystems Technology in Germany 2012
Article, Bibliographie

Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. (2012)
Cleanroom Laboratory for Micro- and Nanotechnology.
4th International Target Fabrication Workshop. Mainz (2012)
Conference or Workshop Item, Bibliographie

Greiner, Felix ; Haus, Henry ; Quednau, Sebastian ; Schlaak, Helmut F. ; Staab, Matthias ; Winterstein, Thomas (2011)
Integrationsorientierte Verfahren zur Herstellung hybrider Mikrosysteme INSIGHT, FKZ 16SV5053.
Report, Bibliographie

Greiner, Felix ; Eberhardt, Johannes ; Schlaak, Helmut F. (2011)
Senkrechte metallische Nano- und Mikrodrähte mit hohem Aspektverhältnis als neuartige Federelemente in Mikrosystemen.
MikroSystemTechnik Kongress 2011. Darmstadt, Germany (10.-12.10.2011)
Conference or Workshop Item, Bibliographie

Gao, Jing ; Müller, Wolfgang F. O. ; Greiner, Felix ; Eicher, Dirk ; Weiland, Thomas ; Schlaak, Helmut F.
ed.: Schlaak, Helmut F. (2011)
Combined Simulation of a Micro Permanent Magnetic Linear Contactless Displacement Sensor.
In: Proceedings of the Mikrosystemtechnik-Kongress 2011, Darmstadt, 10-12 Oktober 2011
Book Section, Bibliographie

Gao, Jing ; Müller, Wolfgang F. O. ; Greiner, Felix ; Eicher, Dirk ; Weiland, Thomas ; Schlaak, Helmut F. (2010)
Combined Simulation of a Micro Permanent Magnetic Linear Contactless Displacement Sensor.
In: Sensors, 10 (9)
Article, Bibliographie

Gao, Jing ; Müller, Wolfgang F. O. ; Greiner, Felix ; Eicher, Dirk ; Weiland, Thomas ; Schlaak, Helmut F.
eds.: Wiak, Stawomir ; Napieralska-Juszczak, Ewa (2010)
Combined Simulation of Micro Permanent Magnetic Linear Contactless Displacement Sensor.
In: Studies in Applied Electromagnetics and Mechanics: Computer Field Models of Electromagnetic Devices
Book Section, Bibliographie

Gao, Jing ; Müller, Wolfgang Franz Otto ; Greiner, Felix ; Eicher, Dirk ; Weiland, Thomas ; Schlaak, Helmut F. (2010)
Combined Simulation of Micro Permanent Magnetic Linear Contactless Displacement Sensor.
In: Sensors, 10
Article, Bibliographie

Gao, Jing ; Müller, Wolfgang F. O. ; Greiner, Felix ; Eicher, Dirk ; Weiland, Thomas ; Schlaak, Helmut F. (2009)
Combined simulation of micro permanent magnetic linear contactless displacement sensor.
International Symposium on Electromagnetic Fields, ISEF 2009, Book of digests, ISEF 09. ARRAS (France)
Conference or Workshop Item, Bibliographie

Greiner, Felix (2006)
Analyse und Optimierung des Anschlagverhaltens von piezoelektrischen Aktoren.
Technische Universität Darmstadt
Diploma Thesis or Magisterarbeit, Bibliographie

Greiner, Felix (2004)
Neuer integrierter Näherungssensor.
Technische Universität Darmstadt
Seminar paper (Midterm), Bibliographie

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