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Mikro-Nano-Integration für die Inertialsensorik

Dassinger, Florian ; Hottes, Martin ; Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. ; Ensinger, Wolfgang (2012)
Mikro-Nano-Integration für die Inertialsensorik.
In: Sensor Magazin, 27 (3)
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2012
Autor(en): Dassinger, Florian ; Hottes, Martin ; Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. ; Ensinger, Wolfgang
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Mikro-Nano-Integration für die Inertialsensorik
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 1 September 2012
Verlag: Magazin Verlag Hightech Publications
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Sensor Magazin
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: 27
(Heft-)Nummer: 3
URL / URN: http://www.sensormagazin.de/dateien/smonline/redaktion/mikro...
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Materialanalytik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Hinterlegungsdatum: 04 Okt 2012 07:15
Letzte Änderung: 05 Mär 2013 10:03
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