Miao, Jianmin ; Hartnagel, Hans L. (2003)
High-energy ion implantation : an alternative technology for micromachining 3-dimensional GaAs structures.
Buch, Bibliographie

Miao, Jianmin ; Tiginyanu, I. M. ; Hartnagel, Hans L. (1997)
The characteristics of high-resistance layers produced in n-GaAs using MeV-nitrogen implantation for three-dimensional structuring.
In: Applied Physics Letters, 70 (7)
doi: 10.1063/1.118222
Artikel, Bibliographie

Miao, Jianmin (1996)
Dreidimensionale Mikrostrukturierung von GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen.
Technische Universität Darmstadt
Dissertation, Bibliographie

Dumka, Deep C. ; Riemenschneider, Rolf ; Miao, Jianmin ; Hartnagel, Hans L. ; Singh, Babu R. (1996)
Electrochemically fabricated high-barrier Schottky contacts on n-InP and their application for metal-semiconductor-metal photodetectors.
In: Journal of The Electrochemical Society, 143 (6)
doi: 10.1149/1.1836929
Artikel, Bibliographie

Miao, Jianmin ; Hartnagel, Hans L. ; Weiss, B. L. ; Wilson, R. J. (1995)
Fabrication of free-standing membranes in n-GaAs using MeV nitrogen implantation for sensors.
Fall meeting of Materials Research Society. Boston, Mass. (27.11.1995-01.12.1995)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Miao, Jianmin ; Hartnagel, Hans L. ; Weiss, B. L. ; Wilson, R. J. (1995)
Improved free standing membranes in GaAs for sensor applications.
In: Electronics Letters, 31 (13)
Artikel, Bibliographie

Miao, Jianmin ; Hjort, K. ; Hartnagel, Hans L. ; Schweitz, J. A. ; Rück, D. ; Tinschert, K. (1995)
Resonant sensors on thin semi-insulating GaAs membranes.
8th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators and Eurosensors. Stockholm, Schweden (25.06.1995-29.06.1995)
doi: 10.1109/SENSOR.1995.721904
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Miao, Jianmin ; Hartnagel, Hans L. ; Rück, D. ; Fricke, K. (1995)
The use of ion implantation for micromachining of GaAs for sensor applications.
In: Sensors and Actuators A : Physical, 46 (1/3)
doi: 10.1016/0924-4247(94)00855-C
Artikel, Bibliographie

Miao, Jianmin ; Rück, D. M. ; Tinschert, K. ; Hartnagel, Hans L. (1995)
Herstellung der mikromechanischen Strukturen auf GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen.
Industrie und Forschung: Seminar der Gesellschaft für Schwerionenforschung. Darmstadt (1995)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Miao, Jianmin ; Hartnagel, Hans L. ; Tinschert, K. ; Rück, D. (1994)
Fabrication of thin semi-insulating GaAs membranes by ion implantation and its application for piezoelectric actuators.
In: Gesellschaft für Schwerionenforschung: Scientific report, 1993
Artikel, Bibliographie