Miao, Jianmin ; Hartnagel, Hans L. (2003)
High-energy ion implantation : an alternative technology for micromachining 3-dimensional GaAs structures.
Buch, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Buch |
|---|---|
| Erschienen: | 2003 |
| Autor(en): | Miao, Jianmin ; Hartnagel, Hans L. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | High-energy ion implantation : an alternative technology for micromachining 3-dimensional GaAs structures |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2003 |
| Verlag: | Ohne Verlag / Selbstverlag |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:18 |
| Letzte Änderung: | 14 Feb 2019 10:47 |
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