Miao, Jianmin ; Hartnagel, ; Weiss, ; Wilson,
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Fabrication of free-standing membranes in n-GaAs using MeV nitrogen implantation for sensors.
In: Fall meeting of Materials Research Society <1995, Boston, USA>: Proceedings
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[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1995)
| Typ des Eintrags: | Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe) |
|---|---|
| Erschienen: | 1995 |
| Autor(en): | Miao, Jianmin ; Hartnagel, ; Weiss, ; Wilson, |
| Titel: | Fabrication of free-standing membranes in n-GaAs using MeV nitrogen implantation for sensors |
| Sprache: | Englisch |
| Reihe: | Fall meeting of Materials Research Society <1995, Boston, USA>: Proceedings |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 15:58 |
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