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Fabrication of free-standing membranes in n-GaAs using MeV nitrogen implantation for sensors

Miao, Jianmin ; Hartnagel, ; Weiss, ; Wilson, :
Fabrication of free-standing membranes in n-GaAs using MeV nitrogen implantation for sensors.
In: Fall meeting of Materials Research Society <1995, Boston, USA>: Proceedings .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1995)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 1995
Autor(en): Miao, Jianmin ; Hartnagel, ; Weiss, ; Wilson,
Titel: Fabrication of free-standing membranes in n-GaAs using MeV nitrogen implantation for sensors
Sprache: Englisch
Reihe: Fall meeting of Materials Research Society <1995, Boston, USA>: Proceedings
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 15:58
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