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Fabrication of thin semi-insulating GaAs membranes by ion implantation and its application for piezoelectric actuators

Miao, Jianmin ; Hartnagel, ; Tinschert, ; Rück, ; Fricke, :
Fabrication of thin semi-insulating GaAs membranes by ion implantation and its application for piezoelectric actuators.
In: Gesellschaft für Schwerionenforschung: Scientific report 1994. - Darmstadt: GSI,1995. S. 185. GSI, Darmstadt
[Buchkapitel], (1994)

Typ des Eintrags: Buchkapitel
Erschienen: 1994
Autor(en): Miao, Jianmin ; Hartnagel, ; Tinschert, ; Rück, ; Fricke,
Titel: Fabrication of thin semi-insulating GaAs membranes by ion implantation and its application for piezoelectric actuators
Sprache: Englisch
Buchtitel: Gesellschaft für Schwerionenforschung: Scientific report 1994. - Darmstadt: GSI,1995. S. 185
Ort: Darmstadt
Verlag: GSI
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 15:54
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