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Fabrication of thin semi-insulating GaAs membranes by ion implantation and its application for piezoelectric actuators

Miao, Jianmin ; Hartnagel, ; Tinschert, ; Rück, (1994)
Fabrication of thin semi-insulating GaAs membranes by ion implantation and its application for piezoelectric actuators.
In: Gesellschaft für Schwerionenforschung: Scientific report 1994
Buchkapitel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Buchkapitel
Erschienen: 1994
Autor(en): Miao, Jianmin ; Hartnagel, ; Tinschert, ; Rück,
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Fabrication of thin semi-insulating GaAs membranes by ion implantation and its application for piezoelectric actuators
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 1994
Ort: Darmstadt
Verlag: GSI
Buchtitel: Gesellschaft für Schwerionenforschung: Scientific report 1994
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 15:54
Letzte Änderung: 08 Mär 2023 12:57
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