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Resonant sensors on thin semi-insulating GaAs membranes

Miao, Jianmin ; Hjort, ; Hartnagel, ; Schweitz, ; Rück, ; Tinschert, :
Resonant sensors on thin semi-insulating GaAs membranes.
In: International Conference on Solid-State Sensors and Actuators: Transducers '95 <8,1995, Stockholm, Schweden>: Digest of techn. papers. S. 406-407 . IEEE , Piscataway, USA
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1995)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 1995
Autor(en): Miao, Jianmin ; Hjort, ; Hartnagel, ; Schweitz, ; Rück, ; Tinschert,
Titel: Resonant sensors on thin semi-insulating GaAs membranes
Sprache: Englisch
Reihe: International Conference on Solid-State Sensors and Actuators: Transducers '95 <8,1995, Stockholm, Schweden>: Digest of techn. papers. S. 406-407
Ort: Piscataway, USA
Verlag: IEEE
Edition: Piscataway, USA: IEEE, 1995
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 15:58
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