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Herstellung der mikromechanischen Strukturen auf GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen

Miao, Jianmin ; Rück, ; Tinschert, ; Hartnagel, :
Herstellung der mikromechanischen Strukturen auf GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen.
In: Industrie und Forschung: Seminar der Gesellschaft für Schwerionenforschung, 1995, Darmstadt .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1995)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 1995
Autor(en): Miao, Jianmin ; Rück, ; Tinschert, ; Hartnagel,
Titel: Herstellung der mikromechanischen Strukturen auf GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen
Sprache: Deutsch
Reihe: Industrie und Forschung: Seminar der Gesellschaft für Schwerionenforschung, 1995, Darmstadt
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:01
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