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Herstellung der mikromechanischen Strukturen auf GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen

Miao, Jianmin and Rück, and Tinschert, and Hartnagel, (1995):
Herstellung der mikromechanischen Strukturen auf GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen.
In: Industrie und Forschung: Seminar der Gesellschaft für Schwerionenforschung, 1995, Darmstadt, [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 1995
Creators: Miao, Jianmin and Rück, and Tinschert, and Hartnagel,
Title: Herstellung der mikromechanischen Strukturen auf GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen
Language: German
Series Name: Industrie und Forschung: Seminar der Gesellschaft für Schwerionenforschung, 1995, Darmstadt
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Microwave Electronics
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:01
License: [undefiniert]
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