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Improved free standing membranes in GaAs for sensor applications

Miao, Jianmin ; Hartnagel, ; Weiss, ; Wilson, :
Improved free standing membranes in GaAs for sensor applications.
In: Electronics letters. 31 (1995), Nr. 13, S. 1047-1049
[Artikel], (1995)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1995
Autor(en): Miao, Jianmin ; Hartnagel, ; Weiss, ; Wilson,
Titel: Improved free standing membranes in GaAs for sensor applications
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Electronics letters. 31 (1995), Nr. 13, S. 1047-1049
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 15:58
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