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The use of ion implantation for micromachining of GaAs for sensor applications

Miao, Jianmin ; Hartnagel, ; Rück, ; Fricke, :
The use of ion implantation for micromachining of GaAs for sensor applications.
In: Sensors and actuators A 46-47, Nr. 1-3, S. 30-34
[Artikel], (1995)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1995
Autor(en): Miao, Jianmin ; Hartnagel, ; Rück, ; Fricke,
Titel: The use of ion implantation for micromachining of GaAs for sensor applications
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Sensors and actuators A 46-47, Nr. 1-3, S. 30-34
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:28
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