Miao, Jianmin ; Hartnagel, ; Rück, ; Fricke, (1995)
The use of ion implantation for micromachining of GaAs for sensor applications.
In: Sensors and actuators A 46-47, Nr. 1-3, S. 30-34
Artikel, Bibliographie
Typ des Eintrags: | Artikel |
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Erschienen: | 1995 |
Autor(en): | Miao, Jianmin ; Hartnagel, ; Rück, ; Fricke, |
Art des Eintrags: | Bibliographie |
Titel: | The use of ion implantation for micromachining of GaAs for sensor applications |
Sprache: | Englisch |
Publikationsjahr: | 1995 |
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Sensors and actuators A 46-47, Nr. 1-3, S. 30-34 |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik |
Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:28 |
Letzte Änderung: | 20 Feb 2020 13:32 |
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