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Dreidimensionale Mikrostrukturierung von GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen

Miao, Jianmin :
Dreidimensionale Mikrostrukturierung von GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen.
VDI-Verl , Düsseldorf
[Dissertation]

Typ des Eintrags: Dissertation
Erschienen: 1996
Autor(en): Miao, Jianmin
Titel: Dreidimensionale Mikrostrukturierung von GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen
Sprache: Deutsch
Band: 232
Ort: Düsseldorf
Verlag: VDI-Verl
Edition: Düsseldorf: VDI-Verl., 1996. VI, 129 S.
Kollation: VI, 129 S
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:23
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