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Dreidimensionale Mikrostrukturierung von GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen

Miao, Jianmin (1996):
Dreidimensionale Mikrostrukturierung von GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen.
Düsseldorf: VDI-Verl., 1996. VI, 129 S.,
Düsseldorf, VDI-Verl, TU Darmstadt, 232, [Ph.D. Thesis]

Item Type: Ph.D. Thesis
Erschienen: 1996
Creators: Miao, Jianmin
Title: Dreidimensionale Mikrostrukturierung von GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen
Language: German
Volume: 232
Place of Publication: Düsseldorf
Publisher: VDI-Verl
Edition: Düsseldorf: VDI-Verl., 1996. VI, 129 S.
Collation: VI, 129 S
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:23
License: [undefiniert]
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