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Zhou, Y. ; Yan, X. ; Kroke, E. ; Riedel, R. ; Probst, D. ; Thissen, A. ; Hauser, R. ; Ahles, Marcus ; Seggern, Heinz von (2006)
Deposition temperature effect on the structure and optical property of RF-PACVD-derived hydrogenated.
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Zhou, Y. ; Probst, D. ; Thissen, A. ; Kroke, E. ; Riedel, R. ; Hauser, R. ; Hoche, H. ; Bfroszeit, E. ; Kroll, P. ; Stafast, H. (2006)
Hard Silicon carbonitride films obtained by RF-plasma-enhanced chemical yapour deposition using the single-source precursor bis(trimethylsilyl)carbodiimide.
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Artikel, Bibliographie