| Typ des Eintrags: |
Artikel
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| Erschienen: |
2006 |
| Autor(en): |
Zhou, Y. ; Probst, D. ; Thissen, A. ; Kroke, E. ; Riedel, R. ; Hauser, R. ; Hoche, H. ; Bfroszeit, E. ; Kroll, P. ; Stafast, H. |
| Art des Eintrags: |
Bibliographie |
| Titel: |
Hard Silicon carbonitride films obtained by RF-plasma-enhanced chemical yapour deposition using the single-source precursor bis(trimethylsilyl)carbodiimide |
| Sprache: |
Englisch |
| Publikationsjahr: |
2006 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: |
Journal of the European Ceramic Society |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: |
26 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): |
16 Fachbereich Maschinenbau |
| Hinterlegungsdatum: |
20 Nov 2008 08:26 |
| Letzte Änderung: |
20 Feb 2020 13:24 |
| PPN: |
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| Export: |
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