Zhou, Y. ; Yan, X. ; Kroke, E. ; Riedel, R. ; Probst, D. ; Thissen, A. ; Hauser, R. ; Ahles, M. ; Seggern, H. von (2006)
Deposition Temperature Effect on the Structure and Optical Property of RF-PACVD-Derived Hydrogenated SiCNO Film.
In: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik, 37 (2)
doi: 10.1002/mawe.200600993
Artikel, Bibliographie

Zhou, Y. ; Yan, X. ; Kroke, E. ; Riedel, R. ; Probst, D. ; Thissen, A. ; Hauser, R. ; Ahles, Marcus ; Seggern, Heinz von (2006)
Deposition temperature effect on the structure and optical property of RF-PACVD-derived hydrogenated.
In: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik, 37
Artikel, Bibliographie

Zhou, Y. ; Probst, D. ; Thissen, A. ; Kroke, E. ; Riedel, R. ; Hauser, R. ; Hoche, H. ; Bfroszeit, E. ; Kroll, P. ; Stafast, H. (2006)
Hard Silicon carbonitride films obtained by RF-plasma-enhanced chemical yapour deposition using the single-source precursor bis(trimethylsilyl)carbodiimide.
In: Journal of the European Ceramic Society, 26
Artikel, Bibliographie