2011

Staab, Matthias ; Greiner, P. F. ; Schlosser, Michael ; Schlaak, Helmut F. (2011)
Applications of Novel High-Aspect-Ratio Ultrathick UV Photoresist for Microelectroplating.
In: Microelectromechanical Systems, Journal of (JMEMS), (99)
Artikel, Bibliographie

Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. (2011)
High Aspect Ratio Metal Nano and Micro Pillars as Suspension Elements in MEMS.
9th International Workshop on High Aspect Ratio Micro Structure Technology. HsinChu, Taiwan (12.06.2011-18.06.2011)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

2010

Greiner, P. F. ; Eberhardt, J. ; Schlaak, Helmut F. (2010)
Metallic Micro Nails MAde by direct LiG process – MiNiMAL.
KNMF User Meeting. Karlsruhe
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Gao, J. ; Müller, W. F. O. ; Greiner, P. F. ; Eicher, Dirk ; Weiland, T. ; Schlaak, Helmut F. (2010)
Combined simulation of micro permanent magnetic linear contactless displacement sensor.
In: Sensors 2010, 10 (9)
Artikel, Bibliographie

Quednau, Sebastian ; Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. ; Rauber, Markus ; Ensinger, Wolfgang ; Neumann, Reinhard (2010)
Integration von Nanodrahtarrays in Mikrosysteme für die Gasflusssensorik.
In: GMM Fachbericht 63 "Mikro-Nano-Integration"
Buchkapitel, Bibliographie

2009

Schlaak, Helmut F. ; Greiner, P. F. (2009)
Mikro-Integration – Neue Funktionen für Mikrosysteme durch Nanotechnologie.
1. GMM-Workshop; GMM Fachbericht 60 "Mikro-Nano-Integration". Seeheim (12.03.2009-13.03.2009)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Gao, J. ; Müller, W. F. O. ; Greiner, P. F. ; Eicher, Dirk ; Weiland, T. ; Schlaak, Helmut F. (2009)
Combined simulation of micro permanent magnetic linear contactless displacement sensor.
Book of digests, ISEF 09- XIVth International Symposium on Electromagnetic Fields in Mechatronics Electrical and Electronic Engineering. ARRAS. France
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. ; Bracht, A. (2009)
Mikro-Nano-Integration - Brücke in die Nanowelt.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

2008

Ionescu, E. ; Greiner, P. F. ; Ngoumeni Yappi, R. B. ; Martinez-Crespiera, S. ; Schlaak, Helmut F. (2008)
Thermally Conductive SU-8-Composites using Ceramic Nano-Powders.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Schlaak, Helmut F. ; Riedel, Ralf ; Völklein, F. ; Neumann, R. ; Korb, W. ; Greiner, P. F. ; Ionescu, E. ; Rauber, Markus (2008)
Integration und Anwendung von Nano-Drähten durch Mikro-Nano-Fertigung und Mikro-Montage - INANOMIK, FKZ 16SV3555.
Report, Bibliographie

2006

Ballas, R. G. ; Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. (2006)
Dynamic Admittance Matrix of Piezoelectric Multilayer Beam Bending Actuators in Closed Form Analysis.
10th International Conference on New Actuators & 4th International Exhibition on Smart Actuators and Drive Systems. Bremen, Germany (14.06.2006-16.06.2006)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

2005

Ballas, R. G. ; Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. (2005)
Non-contact deflection measurements of piezoelectric beam bending actuators with an integrated inductive sensor in combination with a high-accuracy electronic circuit.
Mikro-System-Technik Chemnitz '05 : Mikromechanik & Mikroelektronik. Technische Universität Chemnitz (26.10.2005-27.10.2005)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Ballas, R. G. ; Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. (2005)
Smart piezoelectric bending micro actuator : an integrated inductive non-contact proximity sensor to detect tip deflection.
Mikrosystemtechnik Kongress 2005. Freiburg (10.10.2005-12.10.2005)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Ballas, R. G. ; Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. (2005)
Deflection measurement of piezoelectric bending actuators with a combination of an integrated non-contact inductive sensor and high-accuracy electronic circuit.
Mechanical engineering from macro to nano : 50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium. Ilmenau (19.09.2005-23.09.2005)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Ballas, R. G. ; Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. ; Schmid, Andreas Joseph (2005)
Bending Actuators with Integrated Capacitive and Inductive Sensors for Deflection Measurement.
7. GMA-Kongress 2005 - Automation als interdisziplinäre Herausforderung. Baden-Baden, Deutschland (07.06.2005-08.06.2005)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Ballas, R. G. ; Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. ; Schmid, Andreas Joseph (2005)
Piezoelektrische Biegeaktoren mit integrierter kapazitiver und induktiver Sensorik zur Erfassung der Auslenkung.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie