Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. (2011)
High Aspect Ratio Metal Nano and Micro Pillars as Suspension Elements in MEMS.
9th International Workshop on High Aspect Ratio Micro Structure Technology. HsinChu, Taiwan (12. Jun. - 18. Jun.)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
URL / URN: http://www.harmst2011.tw/
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2011 |
| Autor(en): | Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | High Aspect Ratio Metal Nano and Micro Pillars as Suspension Elements in MEMS |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 12 Juni 2011 |
| Veranstaltungstitel: | 9th International Workshop on High Aspect Ratio Micro Structure Technology |
| Veranstaltungsort: | HsinChu, Taiwan |
| Veranstaltungsdatum: | 12. Jun. - 18. Jun. |
| URL / URN: | http://www.harmst2011.tw/ |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 16 Fachbereich Maschinenbau 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) |
| Hinterlegungsdatum: | 30 Jun 2011 06:32 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:50 |
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