Ballas, R. G. ; Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. (2005)
Smart piezoelectric bending micro actuator : an integrated inductive non-contact proximity sensor to detect tip deflection.
Mikrosystemtechnik Kongress 2005. Freiburg (10.10. - 12.10.2005)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2005 |
| Autor(en): | Ballas, R. G. ; Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Smart piezoelectric bending micro actuator : an integrated inductive non-contact proximity sensor to detect tip deflection |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 10 Oktober 2005 |
| Ort: | Berlin |
| Verlag: | VDE-Verlag |
| Veranstaltungstitel: | Mikrosystemtechnik Kongress 2005 |
| Veranstaltungsort: | Freiburg |
| Veranstaltungsdatum: | 10.10. - 12.10.2005 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:22 |
| Letzte Änderung: | 12 Jan 2024 08:57 |
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