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Mikro-Nano-Integration - Brücke in die Nanowelt.

Greiner, P. F. and Schlaak, Helmut F. and Bracht, A. (2009):
Mikro-Nano-Integration - Brücke in die Nanowelt.
München, In: Mikroproduktion Nr. 5 , Bd. 7, [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2009
Creators: Greiner, P. F. and Schlaak, Helmut F. and Bracht, A.
Title: Mikro-Nano-Integration - Brücke in die Nanowelt.
Language: German
Series Name: Mikroproduktion Nr. 5 , Bd. 7
Place of Publication: München
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Date Deposited: 20 Aug 2010 15:07
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