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Mikro-Nano-Integration - Brücke in die Nanowelt.

Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. ; Bracht, A. :
Mikro-Nano-Integration - Brücke in die Nanowelt.
In: Mikroproduktion Nr. 5 , Bd. 7 . München
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2009)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 2009
Autor(en): Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. ; Bracht, A.
Titel: Mikro-Nano-Integration - Brücke in die Nanowelt.
Sprache: Deutsch
Reihe: Mikroproduktion Nr. 5 , Bd. 7
Ort: München
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 20 Aug 2010 15:07
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