Greiner, P.F. and Schlaak, Helmut F. and Bracht, A.
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Mikro-Nano-Integration - Brücke in die Nanowelt.
In: Mikroproduktion Nr. 5 , Bd. 7
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München
[Conference or Workshop Item], (2009)
| Item Type: | Conference or Workshop Item (UNSPECIFIED) |
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| Erschienen: | 2009 |
| Creators: | Greiner, P.F. and Schlaak, Helmut F. and Bracht, A. |
| Title: | Mikro-Nano-Integration - Brücke in die Nanowelt. |
| Language: | German |
| Series Name: | Mikroproduktion Nr. 5 , Bd. 7 |
| Place of Publication: | München |
| Divisions: | Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Date Deposited: | 20 Aug 2010 15:07 |
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