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Mikro-Integration – Neue Funktionen für Mikrosysteme durch Nanotechnologie

Schlaak, Helmut F. ; Greiner, P. F. (2009)
Mikro-Integration – Neue Funktionen für Mikrosysteme durch Nanotechnologie.
1. GMM-Workshop; GMM Fachbericht 60 "Mikro-Nano-Integration". Seeheim (12.-13. März 2009)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2009
Autor(en): Schlaak, Helmut F. ; Greiner, P. F.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Mikro-Integration – Neue Funktionen für Mikrosysteme durch Nanotechnologie
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 12 Oktober 2009
Ort: Berlin, Offenbach
Veranstaltungstitel: 1. GMM-Workshop; GMM Fachbericht 60 "Mikro-Nano-Integration"
Veranstaltungsort: Seeheim
Veranstaltungsdatum: 12.-13. März 2009
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Hinterlegungsdatum: 04 Okt 2010 12:45
Letzte Änderung: 26 Jan 2024 11:00
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