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Deflection measurement of piezoelectric bending actuators with a combination of an integrated non-contact inductive sensor and high-accuracy electronic circuit

Ballas, R. G. ; Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. :
Deflection measurement of piezoelectric bending actuators with a combination of an integrated non-contact inductive sensor and high-accuracy electronic circuit.
In: Mechanical engineering from macro to nano : 50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, 19. - 23.9.2005, Technische Universität Ilmenau. Peter Scharff].- Ilmenau : Verl. ISLE
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2005)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 2005
Autor(en): Ballas, R. G. ; Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F.
Titel: Deflection measurement of piezoelectric bending actuators with a combination of an integrated non-contact inductive sensor and high-accuracy electronic circuit
Sprache: Englisch
Verlag: Peter Scharff].- Ilmenau : Verl. ISLE
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
Veranstaltungstitel: Mechanical engineering from macro to nano : 50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium
Veranstaltungsort: Technische Universität Ilmenau
Veranstaltungsdatum: 19. - 23.9.2005
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:24
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