Ballas, R. G. ; Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. (2005)
Non-contact deflection measurements of piezoelectric beam bending actuators with an integrated inductive sensor in combination with a high-accuracy electronic circuit.
Mikro-System-Technik Chemnitz '05 : Mikromechanik & Mikroelektronik. Technische Universität Chemnitz (26./27. Oktober 2005)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2005 |
| Autor(en): | Ballas, R. G. ; Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Non-contact deflection measurements of piezoelectric beam bending actuators with an integrated inductive sensor in combination with a high-accuracy electronic circuit |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 26 Oktober 2005 |
| Verlag: | Techn. Univ. |
| Veranstaltungstitel: | Mikro-System-Technik Chemnitz '05 : Mikromechanik & Mikroelektronik |
| Veranstaltungsort: | Technische Universität Chemnitz |
| Veranstaltungsdatum: | 26./27. Oktober 2005 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:22 |
| Letzte Änderung: | 19 Apr 2016 08:11 |
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