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Non-contact deflection measurements of piezoelectric beam bending actuators with an integrated inductive sensor in combination with a high-accuracy electronic circuit

Ballas, R. G. ; Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. :
Non-contact deflection measurements of piezoelectric beam bending actuators with an integrated inductive sensor in combination with a high-accuracy electronic circuit.
In: Mikro-System-Technik Chemnitz '05 : Mikromechanik & Mikroelektronik, 26./27. Oktober 2005, Technische Universität Chemnitz. Techn. Univ.
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2005)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 2005
Autor(en): Ballas, R. G. ; Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F.
Titel: Non-contact deflection measurements of piezoelectric beam bending actuators with an integrated inductive sensor in combination with a high-accuracy electronic circuit
Sprache: Englisch
Verlag: Techn. Univ.
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
Veranstaltungstitel: Mikro-System-Technik Chemnitz '05 : Mikromechanik & Mikroelektronik
Veranstaltungsort: Technische Universität Chemnitz
Veranstaltungsdatum: 26./27. Oktober 2005
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:22
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