Deutsch

Greiner, Felix ; Quednau, Sebastian ; Dassinger, Florian ; Sarwar, Reza ; Schlaak, Helmut F. ; Guttmann, Markus ; Meyer, Pascal (2013)
Fertigungstechniken für Multiskalen-3D-Mikrosysteme mit vertikaler Metall-Mikro- und Nanodraht-Integration GMM-Preis 2013.
Mikrosystemtechnik Kongress 2013. Aachen (14.10.2013-16.10.2013)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Englisch

Greiner, Felix ; Guttmann, Markus ; Meyer, Pascal ; Schlaak, Helmut F. (2013)
Fabrication of 3D-MEMS with High Aspect Ratio Micro Wires.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Greiner, Felix ; Quednau, Sebastian ; Dassinger, Florian ; Sarwar, Reza ; Schlaak, Helmut F. ; Guttmann, Markus ; Meyer, Pascal (2013)
Fabrication techniques of multiscale 3D-MEMS with vertical metal micro- and nanowire integration.
In: Journal of Micromechanics and Microengineering
doi: 10.1088/0960-1317/23/2/025018
Artikel, Bibliographie