Acker, Heinrich ; Kluge, ; Umbach, ; Langheinrich, (1998):
Measurement of magnetic flux density for applications in automation and control.
In: . Hrsg.: J. Volf (u.a.), S. 99-104, Prag, Czech. Techn. Univ, ISMCR: International Symposium on Measurement in Robotics <8, 1998, Praha>: Proceedings, [Conference or Workshop Item]

Acker, Heinrich ; Langheinrich, (1998):
Untersuchung berührungsloser Sensoren für mechanische Größen durch FEM-Simulation elektrischer und magnetischer Felder.
In: Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik <1998, Magdeburg>: Tagungsbd., Hrsg.: B. Michaelis (u.a), Magdeburg: Otto-von Guericke-Univ., Fak. für Elektrotechnik, Inst. für Prozeßmeßtechnik, 1998, pp. 24-31, Magdeburg, Otto-von Guericke-Univ, [Book Section]

Umbach, Frank ; Langheinrich, (1998):
Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen.
In: Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik <1998, Magdeburg>: Tagungsbd., S. 117-124, Magdeburg: Otto-von Guericke-Univ., 1998, Magdeburg, Otto-von Guericke-Univ, [Conference or Workshop Item]

Umbach, Frank ; Langheinrich, (1998):
Integrierte Spulen für die Mikrosystemtechnik.
In: Sensoren und Meßtechnik: ITG-Tagung Bad Nauheim, 1998. Tagunsbd., - Berlin (u.a.): VDE-Verl., 1998. S. 339-344, 148, Berlin (u.a.), VDE-Verl, [Conference or Workshop Item]

Acker, Heinrich ; Langheinrich, (1998):
A differential-type capacitive sensor for non-contact measurement of torque.
In: International Conference on Micro-Electro-, -Opto-, Mechanical Systems and Components <6, 1998, Potsdam>: Proceedings. Hrsg.: H. Reichl (u.a.), S. 101-106, Berlin (u.a.): VDE-Verl., 1998, Berlin (u.a.), VDE-Verl, [Conference or Workshop Item]

Rombach, Pirmin ; Umbach, ; Langheinrich, (1996):
Modellierung und Technologieentwicklung für einen mikromechanischen Drehmomentsensor.
In: Sensoren und Messysteme: GME/ITG Fachtagung 1996; Tagungsbd. S. 223-228, [Conference or Workshop Item]

Killat, Dirk ; Kluge, ; Umbach, ; Langheinrich, ; Schmitz, ; Kluge, ; Umbach, ; Langheinrich, ; Schmitz, ; Kluge, ; Umbach, ; Langheinrich, ; Schmitz, (1996):
Sensitivity and noise of MOS magnetic field effect transistors.
In: European Solid State Device Research Conference <26, 1996, Bologna>: Proceedings. S. 111-114, [Conference or Workshop Item]

Schilling, Frank ; Langheinrich, ; Weiblen, ; Arand, (1996):
Simulative Nachbildung von Temperatureinflüssen auf die elektrischen Eigenschaften gehäusemontierter Drucksensoren.
In: Simulation mit der Finite-Element-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik: März 1996, München, München, Fachhochschule, [Conference or Workshop Item]

Rombach, Pirmin ; Langheinrich, (1995):
Modeling of a micromachined torque sensor.
In: Sensors and actuators. A 46 (1995), No. 1-3, S. 294-297, [Article]