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Acker, Heinrich ; Kluge, ; Umbach, ; Langheinrich, (1998)
Measurement of magnetic flux density for applications in automation and control.
ISMCR: International Symposium on Measurement in Robotics <8, 1998, Praha>: Proceedings.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
Acker, Heinrich ; Langheinrich, (1998)
Untersuchung berührungsloser Sensoren für mechanische Größen durch FEM-Simulation elektrischer und magnetischer Felder.
In: Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik
Buchkapitel, Bibliographie
Umbach, Frank ; Langheinrich, (1998)
Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
Umbach, Frank ; Langheinrich, (1998)
Integrierte Spulen für die Mikrosystemtechnik.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
Acker, Heinrich ; Langheinrich, (1998)
A differential-type capacitive sensor for non-contact measurement of torque.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
Rombach, Pirmin ; Umbach, ; Langheinrich, (1996)
Modellierung und Technologieentwicklung für einen mikromechanischen Drehmomentsensor.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
Killat, Dirk ; Kluge, ; Umbach, ; Langheinrich, ; Schmitz, ; Kluge, ; Umbach, ; Langheinrich, ; Schmitz, ; Kluge, ; Umbach, ; Langheinrich, ; Schmitz, (1996)
Sensitivity and noise of MOS magnetic field effect transistors.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
Rombach, Pirmin ; Langheinrich, (1995)
Modeling of a micromachined torque sensor.
In: Sensors and actuators. A 46 (1995), No. 1-3, S. 294-297
Artikel, Bibliographie