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Anzahl der Einträge: 10.

Acker, Heinrich ; Kluge, ; Umbach, ; Langheinrich, :
Measurement of magnetic flux density for applications in automation and control.
In: ISMCR: International Symposium on Measurement in Robotics <8, 1998, Praha>: Proceedings. In: . Hrsg.: J. Volf (u.a.), S. 99-104 . Czech. Techn. Univ , Prag
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1998)

Acker, Heinrich ; Langheinrich, :
Untersuchung berührungsloser Sensoren für mechanische Größen durch FEM-Simulation elektrischer und magnetischer Felder.
In: Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik <1998, Magdeburg>: Tagungsbd., Hrsg.: B. Michaelis (u.a). Otto-von Guericke-Univ, Magdeburg , pp. 24-31.
[Buchkapitel], (1998)

Umbach, Frank ; Langheinrich, :
Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen.
In: Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik <1998, Magdeburg>: Tagungsbd., S. 117-124 . Otto-von Guericke-Univ , Magdeburg
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1998)

Umbach, Frank ; Langheinrich, :
Integrierte Spulen für die Mikrosystemtechnik.
In: Sensoren und Meßtechnik: ITG-Tagung Bad Nauheim, 1998. Tagunsbd., - Berlin (u.a.): VDE-Verl., 1998. S. 339-344 , 148 . VDE-Verl , Berlin (u.a.)
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1998)

Acker, Heinrich ; Langheinrich, :
A differential-type capacitive sensor for non-contact measurement of torque.
In: International Conference on Micro-Electro-, -Opto-, Mechanical Systems and Components <6, 1998, Potsdam>: Proceedings. Hrsg.: H. Reichl (u.a.), S. 101-106 . VDE-Verl , Berlin (u.a.)
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1998)

Rombach, Pirmin ; Umbach, ; Langheinrich, :
Modellierung und Technologieentwicklung für einen mikromechanischen Drehmomentsensor.
In: Sensoren und Messysteme: GME/ITG Fachtagung 1996; Tagungsbd. S. 223-228 .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1996)

Killat, Dirk ; Kluge, ; Umbach, ; Langheinrich, ; Schmitz, ; Kluge, ; Umbach, ; Langheinrich, ; Schmitz, ; Kluge, ; Umbach, ; Langheinrich, ; Schmitz, :
Sensitivity and noise of MOS magnetic field effect transistors.
In: European Solid State Device Research Conference <26, 1996, Bologna>: Proceedings. S. 111-114 .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1996)

Schilling, Frank ; Langheinrich, ; Weiblen, ; Arand, :
Simulative Nachbildung von Temperatureinflüssen auf die elektrischen Eigenschaften gehäusemontierter Drucksensoren.
In: Simulation mit der Finite-Element-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik: März 1996, München . Fachhochschule , München
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1996)

Rombach, Pirmin ; Langheinrich, :
Modeling of a micromachined torque sensor.
In: Sensors and actuators. A 46 (1995), No. 1-3, S. 294-297
[Artikel], (1995)

Rombach, Pirmin ; Steiger, ; Langheinrich, :
Planar coils with ferromagnetic yoke for a micromachined torque sensor.
In: Journal of micromechanics and microengineering. 5 (1995), S. 136-138
[Artikel], (1995)

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