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Number of items: 10.

Acker, Heinrich and Kluge, and Umbach, and Langheinrich, (1998):
Measurement of magnetic flux density for applications in automation and control.
Prag, Czech. Techn. Univ, In: ISMCR: International Symposium on Measurement in Robotics <8, 1998, Praha>: Proceedings, In: . Hrsg.: J. Volf (u.a.), S. 99-104, [Conference or Workshop Item]

Acker, Heinrich and Langheinrich, (1998):
Untersuchung berührungsloser Sensoren für mechanische Größen durch FEM-Simulation elektrischer und magnetischer Felder.
In: Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik <1998, Magdeburg>: Tagungsbd., Hrsg.: B. Michaelis (u.a), Magdeburg, Otto-von Guericke-Univ, pp. 24-31, [Book Section]

Umbach, Frank and Langheinrich, (1998):
Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen.
Magdeburg, Otto-von Guericke-Univ, In: Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik <1998, Magdeburg>: Tagungsbd., S. 117-124, [Conference or Workshop Item]

Umbach, Frank and Langheinrich, (1998):
Integrierte Spulen für die Mikrosystemtechnik.
Berlin (u.a.), VDE-Verl, In: Sensoren und Meßtechnik: ITG-Tagung Bad Nauheim, 1998. Tagunsbd., - Berlin (u.a.): VDE-Verl., 1998. S. 339-344, 148, [Conference or Workshop Item]

Acker, Heinrich and Langheinrich, (1998):
A differential-type capacitive sensor for non-contact measurement of torque.
Berlin (u.a.), VDE-Verl, In: International Conference on Micro-Electro-, -Opto-, Mechanical Systems and Components <6, 1998, Potsdam>: Proceedings. Hrsg.: H. Reichl (u.a.), S. 101-106, [Conference or Workshop Item]

Rombach, Pirmin and Umbach, and Langheinrich, (1996):
Modellierung und Technologieentwicklung für einen mikromechanischen Drehmomentsensor.
In: Sensoren und Messysteme: GME/ITG Fachtagung 1996; Tagungsbd. S. 223-228, [Conference or Workshop Item]

Killat, Dirk and Kluge, and Umbach, and Langheinrich, and Schmitz, and Kluge, and Umbach, and Langheinrich, and Schmitz, and Kluge, and Umbach, and Langheinrich, and Schmitz, (1996):
Sensitivity and noise of MOS magnetic field effect transistors.
In: European Solid State Device Research Conference <26, 1996, Bologna>: Proceedings. S. 111-114, [Conference or Workshop Item]

Schilling, Frank and Langheinrich, and Weiblen, and Arand, (1996):
Simulative Nachbildung von Temperatureinflüssen auf die elektrischen Eigenschaften gehäusemontierter Drucksensoren.
München, Fachhochschule, In: Simulation mit der Finite-Element-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik: März 1996, München, [Conference or Workshop Item]

Rombach, Pirmin and Langheinrich, (1995):
Modeling of a micromachined torque sensor.
In: Sensors and actuators. A 46 (1995), No. 1-3, S. 294-297, [Article]

Rombach, Pirmin and Steiger, and Langheinrich, (1995):
Planar coils with ferromagnetic yoke for a micromachined torque sensor.
In: Journal of micromechanics and microengineering. 5 (1995), S. 136-138, [Article]

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