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Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen

Umbach, Frank and Langheinrich, (1998):
Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen.
In: Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik <1998, Magdeburg>: Tagungsbd., S. 117-124, Magdeburg: Otto-von Guericke-Univ., 1998, Magdeburg, Otto-von Guericke-Univ, [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 1998
Creators: Umbach, Frank and Langheinrich,
Title: Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen
Language: German
Series Name: Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik <1998, Magdeburg>: Tagungsbd., S. 117-124
Place of Publication: Magdeburg
Publisher: Otto-von Guericke-Univ
Edition: Magdeburg: Otto-von Guericke-Univ., 1998
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:19
License: [undefiniert]
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