Umbach, Frank ; Langheinrich,
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Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen.
In: Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik <1998, Magdeburg>: Tagungsbd., S. 117-124
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Otto-von Guericke-Univ
, Magdeburg
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1998)
| Typ des Eintrags: | Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe) |
|---|---|
| Erschienen: | 1998 |
| Autor(en): | Umbach, Frank ; Langheinrich, |
| Titel: | Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen |
| Sprache: | Deutsch |
| Reihe: | Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik <1998, Magdeburg>: Tagungsbd., S. 117-124 |
| Ort: | Magdeburg |
| Verlag: | Otto-von Guericke-Univ |
| Edition: | Magdeburg: Otto-von Guericke-Univ., 1998 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:19 |
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