Umbach, Frank ; Langheinrich, (1998):
Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen.
In: Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik <1998, Magdeburg>: Tagungsbd., S. 117-124, Magdeburg: Otto-von Guericke-Univ., 1998, Magdeburg, Otto-von Guericke-Univ, [Conference or Workshop Item]
Item Type: | Conference or Workshop Item |
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Erschienen: | 1998 |
Creators: | Umbach, Frank ; Langheinrich, |
Title: | Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen |
Language: | German |
Series: | Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik <1998, Magdeburg>: Tagungsbd., S. 117-124 |
Place of Publication: | Magdeburg |
Publisher: | Otto-von Guericke-Univ |
Edition: | Magdeburg: Otto-von Guericke-Univ., 1998 |
Divisions: | 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology |
Date Deposited: | 19 Nov 2008 16:19 |
License: | [undefiniert] |
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