Umbach, Frank ; Langheinrich, (1998):
Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen.
In: Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik <1998, Magdeburg>: Tagungsbd., S. 117-124, Magdeburg: Otto-von Guericke-Univ., 1998, Magdeburg, Otto-von Guericke-Univ, [Conference or Workshop Item]
| Item Type: | Conference or Workshop Item |
|---|---|
| Erschienen: | 1998 |
| Creators: | Umbach, Frank ; Langheinrich, |
| Title: | Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen |
| Language: | German |
| Series: | Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik <1998, Magdeburg>: Tagungsbd., S. 117-124 |
| Place of Publication: | Magdeburg |
| Publisher: | Otto-von Guericke-Univ |
| Edition: | Magdeburg: Otto-von Guericke-Univ., 1998 |
| Divisions: | 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology |
| Date Deposited: | 19 Nov 2008 16:19 |
| License: | [undefiniert] |
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