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Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen

Umbach, Frank ; Langheinrich, :
Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen.
In: Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik <1998, Magdeburg>: Tagungsbd., S. 117-124 . Otto-von Guericke-Univ , Magdeburg
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1998)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 1998
Autor(en): Umbach, Frank ; Langheinrich,
Titel: Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen
Sprache: Deutsch
Reihe: Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik <1998, Magdeburg>: Tagungsbd., S. 117-124
Ort: Magdeburg
Verlag: Otto-von Guericke-Univ
Edition: Magdeburg: Otto-von Guericke-Univ., 1998
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:19
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