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Modeling of a micromachined torque sensor

Rombach, Pirmin ; Langheinrich, :
Modeling of a micromachined torque sensor.
In: Sensors and actuators. A 46 (1995), No. 1-3, S. 294-297
[Artikel], (1995)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1995
Autor(en): Rombach, Pirmin ; Langheinrich,
Titel: Modeling of a micromachined torque sensor
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Sensors and actuators. A 46 (1995), No. 1-3, S. 294-297
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 15:58
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