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Modellierung und Technologieentwicklung für einen mikromechanischen Drehmomentsensor

Rombach, Pirmin and Umbach, and Langheinrich, (1996):
Modellierung und Technologieentwicklung für einen mikromechanischen Drehmomentsensor.
In: Sensoren und Messysteme: GME/ITG Fachtagung 1996; Tagungsbd. S. 223-228, [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 1996
Creators: Rombach, Pirmin and Umbach, and Langheinrich,
Title: Modellierung und Technologieentwicklung für einen mikromechanischen Drehmomentsensor
Language: German
Series Name: Sensoren und Messysteme: GME/ITG Fachtagung 1996; Tagungsbd. S. 223-228
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Date Deposited: 19 Nov 2008 15:54
License: [undefiniert]
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