Rombach, Pirmin ; Umbach, ; Langheinrich, (1996):
Modellierung und Technologieentwicklung für einen mikromechanischen Drehmomentsensor.
In: Sensoren und Messysteme: GME/ITG Fachtagung 1996; Tagungsbd. S. 223-228, [Conference or Workshop Item]
| Item Type: | Conference or Workshop Item |
|---|---|
| Erschienen: | 1996 |
| Creators: | Rombach, Pirmin ; Umbach, ; Langheinrich, |
| Title: | Modellierung und Technologieentwicklung für einen mikromechanischen Drehmomentsensor |
| Language: | German |
| Series Name: | Sensoren und Messysteme: GME/ITG Fachtagung 1996; Tagungsbd. S. 223-228 |
| Divisions: | 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology |
| Date Deposited: | 19 Nov 2008 15:54 |
| License: | [undefiniert] |
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