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Integrierte Spulen für die Mikrosystemtechnik

Umbach, Frank ; Langheinrich, :
Integrierte Spulen für die Mikrosystemtechnik.
In: Sensoren und Meßtechnik: ITG-Tagung Bad Nauheim, 1998. Tagunsbd., - Berlin (u.a.): VDE-Verl., 1998. S. 339-344 , 148 . VDE-Verl , Berlin (u.a.)
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1998)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 1998
Autor(en): Umbach, Frank ; Langheinrich,
Titel: Integrierte Spulen für die Mikrosystemtechnik
Sprache: Deutsch
Reihe: Sensoren und Meßtechnik: ITG-Tagung Bad Nauheim, 1998. Tagunsbd., - Berlin (u.a.): VDE-Verl., 1998. S. 339-344
Band: 148
Ort: Berlin (u.a.)
Verlag: VDE-Verl
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:25
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