Deutsch

Lang, Markus (1998)
Entwurfsmethoden und rapid prototyping integrierter Mikrosysteme.
Technische Universität Darmstadt
Dissertation, Bibliographie

Lang, Markus ; Hofmann, Klaus ; Glesner, Manfred (1997)
FEM-Modelle von Mikrosystemkomponenten - Schnittstelle zu unterschiedlichen Abstraktionsebenen.
Workshop Wissenschaftliches Rechnen in der Elektrotechnik. Darmstadt (19.06.1997-20.06.1997)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Lang, Markus ; Glesner, Manfred (1996)
Entwurf eines mikromechanischen Beschleunigungssensors in CMOS-kompatibler Technologie.
3. GI/GMM/ITG-Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen. Frankfurt, Germany (27.06.1996-28.06.1996)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Englisch

Lang, Markus ; Glesner, Manfred (1997)
Automatic mask adaptation of CMOS-compatible micromachined devices using their finite element model.
MME' 97: Micromechanics Europe. Southampton (31.08.1997-02.09.1997)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Lang, Markus ; Davidov, D. ; Glesner, Manfred (1997)
Automatic transfer of parametric FEMmodels into CAD-layout formats for top-down design of microsystems.
Proceedings European Design and Test Conference. ED & TC 97. Paris, France (17.03.1997-20.03.1997)
doi: 10.1109/EDTC.1997.582359
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Lang, Markus ; Hofmann, Klaus ; Glesner, Manfred (1997)
Using FEM models for the generation of microcomponent descriptions on various levels of interest.
LDSD'97. Lissabon, Portugal (19.05.1997-21.05.1997)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Lang, Markus (1997)
An acceleration sensor in cmos-compatible technology for integration in complex systems.
In: Journal of micromechanics and microengineering. 7 (1997), 3, S. 193-195
Artikel, Bibliographie

Lang, Markus (1996)
An acceleration sensor in CMOS-compatible technology for integration in complex systems.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie