| Typ des Eintrags: |
Konferenzveröffentlichung
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| Erschienen: |
1997 |
| Autor(en): |
Lang, Markus ; Glesner, Manfred |
| Art des Eintrags: |
Bibliographie |
| Titel: |
Automatic mask adaptation of CMOS-compatible micromachined devices using their finite element model |
| Sprache: |
Englisch |
| Publikationsjahr: |
1997 |
| Ort: |
Southampton |
| Verlag: |
Southampton University Microelectronics Centre |
| Buchtitel: |
MME '97, 31. august - 2. september 1997, Southampton England ; proceedings Micromechanics Europe 1997 |
| Veranstaltungstitel: |
MME' 97: Micromechanics Europe |
| Veranstaltungsort: |
Southampton |
| Veranstaltungsdatum: |
31st August - 2nd September 1997 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): |
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Hinterlegungsdatum: |
19 Nov 2008 16:04 |
| Letzte Änderung: |
11 Okt 2023 11:31 |
| PPN: |
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| Export: |
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