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An acceleration sensor in CMOS-compatible technology for integration in complex systems

Lang, Markus :
An acceleration sensor in CMOS-compatible technology for integration in complex systems.
In: Micromechanics Europe MME '96 <1996, Barcelona>: Proceedings .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1996)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 1996
Autor(en): Lang, Markus
Titel: An acceleration sensor in CMOS-compatible technology for integration in complex systems
Sprache: Englisch
Reihe: Micromechanics Europe MME '96 <1996, Barcelona>: Proceedings
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:00
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