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An acceleration sensor in cmos-compatible technology for integration in complex systems

Lang, Markus :
An acceleration sensor in cmos-compatible technology for integration in complex systems.
In: Journal of micromechanics and microengineering. 7 (1997), 3, S. 193-195
[Artikel], (1997)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1997
Autor(en): Lang, Markus
Titel: An acceleration sensor in cmos-compatible technology for integration in complex systems
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Journal of micromechanics and microengineering. 7 (1997), 3, S. 193-195
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:04
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