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Entwurf eines mikromechanischen Beschleunigungssensors in CMOS-kompatibler Technologie

Lang, Markus and Glesner, and Glesner, (1996):
Entwurf eines mikromechanischen Beschleunigungssensors in CMOS-kompatibler Technologie.
In: Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen: 3. GI/GMM/ITG Workshop, Frankfurt 1996. Tagungsbd., [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 1996
Creators: Lang, Markus and Glesner, and Glesner,
Title: Entwurf eines mikromechanischen Beschleunigungssensors in CMOS-kompatibler Technologie
Language: German
Series Name: Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen: 3. GI/GMM/ITG Workshop, Frankfurt 1996. Tagungsbd.
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:00
License: [undefiniert]
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