TU Darmstadt / ULB / TUbiblio

Entwurf eines mikromechanischen Beschleunigungssensors in CMOS-kompatibler Technologie

Lang, Markus ; Glesner, ; Glesner, :
Entwurf eines mikromechanischen Beschleunigungssensors in CMOS-kompatibler Technologie.
In: Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen: 3. GI/GMM/ITG Workshop, Frankfurt 1996. Tagungsbd. .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1996)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 1996
Autor(en): Lang, Markus ; Glesner, ; Glesner,
Titel: Entwurf eines mikromechanischen Beschleunigungssensors in CMOS-kompatibler Technologie
Sprache: Deutsch
Reihe: Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen: 3. GI/GMM/ITG Workshop, Frankfurt 1996. Tagungsbd.
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:00
Export:

Optionen (nur für Redakteure)

Eintrag anzeigen Eintrag anzeigen