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CMOS-compatible Fabrication Process of Carbon-Nanotube-Field-Effect Transistors

Rispal, Lorraine ; Wessely, Frank ; Stefanov, Yordan ; Ruland, Tino ; Schwalke, Udo (2006)
CMOS-compatible Fabrication Process of Carbon-Nanotube-Field-Effect Transistors.
IEEE EDS Workshop on Advanced Electron Devices. Fraunhofer-Institut IMS, Duisburg, Deutschland (13.06.2006-14.06.2006)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2006
Autor(en): Rispal, Lorraine ; Wessely, Frank ; Stefanov, Yordan ; Ruland, Tino ; Schwalke, Udo
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: CMOS-compatible Fabrication Process of Carbon-Nanotube-Field-Effect Transistors
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 14 Juni 2006
Veranstaltungstitel: IEEE EDS Workshop on Advanced Electron Devices
Veranstaltungsort: Fraunhofer-Institut IMS, Duisburg, Deutschland
Veranstaltungsdatum: 13.06.2006-14.06.2006
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik
Hinterlegungsdatum: 28 Jun 2011 06:06
Letzte Änderung: 05 Mär 2013 09:50
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