2007

Walther, F. ; Davydovskaya, P. ; Zürcher, S. ; Kaiser, M. ; Herberg, H. ; Gigler, A. M. ; Stark, R. W. (2007)
Stability of the hydrophilic behaviour of oxygen plasma activated SU-8.
In: Journal of Micromechanics and Microengineering, 17 (3)
doi: 10.1088/0960-1317/17/3/015
Artikel, Bibliographie

2006

Walther, F. ; Zürcher, S. ; Hennemeyer, M. ; Kaiser, M. ; Herberg, H. ; Stark, R. W. (2006)
Hydrophobic recovery of SU-8 after O2-plasma treatment.
Int. Workshop on Nanomechanical Sensors. Copenhagen, Denmark (07.05.2006-10.05.2006)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie