Walther, F. ; Zürcher, S. ; Hennemeyer, M. ; Kaiser, M. ; Herberg, H. ; Stark, R. W. (2006)
Hydrophobic recovery of SU-8 after O2-plasma treatment.
Int. Workshop on Nanomechanical Sensors. Copenhagen, Denmark (May 7-10)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2006 |
| Autor(en): | Walther, F. ; Zürcher, S. ; Hennemeyer, M. ; Kaiser, M. ; Herberg, H. ; Stark, R. W. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Hydrophobic recovery of SU-8 after O2-plasma treatment |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2006 |
| Ort: | Copenhagen, Denmark |
| Veranstaltungstitel: | Int. Workshop on Nanomechanical Sensors |
| Veranstaltungsort: | Copenhagen, Denmark |
| Veranstaltungsdatum: | May 7-10 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | Zentrale Einrichtungen ?? fb99_csi~fg5 ?? |
| Hinterlegungsdatum: | 05 Jul 2010 11:39 |
| Letzte Änderung: | 25 Apr 2024 09:20 |
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