Walther, F. ; Davydovskaya, P. ; Zürcher, S. ; Kaiser, M. ; Herberg, H. ; Gigler, A. M. ; Stark, R. W. (2007)
Stability of the hydrophilic behaviour of oxygen plasma activated SU-8.
In: Journal of Micromechanics and Microengineering, 17 (3)
doi: 10.1088/0960-1317/17/3/015
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2007 |
| Autor(en): | Walther, F. ; Davydovskaya, P. ; Zürcher, S. ; Kaiser, M. ; Herberg, H. ; Gigler, A. M. ; Stark, R. W. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Stability of the hydrophilic behaviour of oxygen plasma activated SU-8 |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 9 Februar 2007 |
| Verlag: | IOP Publishing Ltd. |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Journal of Micromechanics and Microengineering |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 17 |
| (Heft-)Nummer: | 3 |
| DOI: | 10.1088/0960-1317/17/3/015 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | Zentrale Einrichtungen ?? fb99_csi~fg5 ?? |
| Hinterlegungsdatum: | 08 Jun 2010 08:00 |
| Letzte Änderung: | 23 Apr 2020 14:26 |
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