Artikel

Miao, Jianmin ; Hartnagel, Hans L. ; Tinschert, K. ; Rück, D. (1994)
Fabrication of thin semi-insulating GaAs membranes by ion implantation and its application for piezoelectric actuators.
In: Gesellschaft für Schwerionenforschung: Scientific report, 1993
Artikel, Bibliographie

Konferenzveröffentlichung

Miao, Jianmin ; Hjort, K. ; Hartnagel, Hans L. ; Schweitz, J. A. ; Rück, D. ; Tinschert, K. (1995)
Resonant sensors on thin semi-insulating GaAs membranes.
8th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators and Eurosensors. Stockholm, Schweden (25.06.1995-29.06.1995)
doi: 10.1109/SENSOR.1995.721904
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Miao, Jianmin ; Rück, D. M. ; Tinschert, K. ; Hartnagel, Hans L. (1995)
Herstellung der mikromechanischen Strukturen auf GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen.
Industrie und Forschung: Seminar der Gesellschaft für Schwerionenforschung. Darmstadt (1995)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie