Artikel

Miao, Jianmin ; Hartnagel, Hans L. ; Rück, D. ; Fricke, K. (1995)
The use of ion implantation for micromachining of GaAs for sensor applications.
In: Sensors and Actuators A : Physical, 46 (1/3)
doi: 10.1016/0924-4247(94)00855-C
Artikel, Bibliographie

Miao, Jianmin ; Hartnagel, Hans L. ; Tinschert, K. ; Rück, D. (1994)
Fabrication of thin semi-insulating GaAs membranes by ion implantation and its application for piezoelectric actuators.
In: Gesellschaft für Schwerionenforschung: Scientific report, 1993
Artikel, Bibliographie

Konferenzveröffentlichung

Miao, Jianmin ; Hjort, K. ; Hartnagel, Hans L. ; Schweitz, J. A. ; Rück, D. ; Tinschert, K. (1995)
Resonant sensors on thin semi-insulating GaAs membranes.
8th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators and Eurosensors. Stockholm, Schweden (25.06.1995-29.06.1995)
doi: 10.1109/SENSOR.1995.721904
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie