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Stelzner, Thomas ; Arold, M. ; Falk, F. ; Stafast, Herbert ; Probst, Daniel ; Hoche, Holger :
Single source precursors for plasma-enhanced CVD of SiCN films, investigated by mass spectrometry.
In: Surface & coatings technology, 200 S. 372-376.
[Artikel] , (2005)

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