Blättern nach Person
 | Ebene hoch |
Anzahl der Einträge: 1.
Stelzner, Thomas ; Arold, M. ; Falk, F. ; Stafast, Herbert ; Probst, Daniel ; Hoche, Holger (2005)
Single source precursors for plasma-enhanced CVD of SiCN films, investigated by mass spectrometry.
In: Surface & coatings technology, 200
Artikel, Bibliographie
Drucken
Impressum