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Flege, Stefan ; Hatada, Ruriko ; Jantsen, Gennadi ; Walbert, Torsten ; Ensinger, Wolfgang ; Baba, Koumei ; Morimura, Takao ; Muench, Falk :
Nanoparticles as a Metal Source in Plasma Processes.
[Online-Edition: https://doi.org/10.14723/tmrsj.42.31]
In: Transactions of the Materials Research Society of Japan, 42 (2) pp. 31-36. ISSN 1382-3469
[Artikel], (2017)

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